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漢微科電子束量測技術可針對二D及三D圖案進行清楚的成像，ASML可藉此成像強化設計及製程模擬模型，有助ASML曝光機調整至最適狀態。此外，漢微科在電子束檢測極紫光外光應用於辨識 光罩缺陷領域也具領導地位，未來也將有助提升ASML極紫光外微影系統平台效能。
台股股后漢微科宣布，與ASML簽署股份轉換契約，ASML將斥資新台幣新台幣一○○○億元收購漢微科全部流通在外股份，每股收購價一四一○元。
漢微科多年專注高解析度及電壓反差成像電子束產品及應用開發，位居電子束檢測設備龍頭，核心技術將可增加ASML包括微影曝光系統、運算微影及量測等全方位微影技術解決方案。
隨著半導體製程技術不斷推進，十奈米以下及三D立體結構製程的製程技術及良率控制難度 提高，需高密度、高解析度的量測技術，測量及控制半導體元件效能。
ASML在與漢微科聯合新聞稿中指出，收購漢微科是為使先進技術與設備更加精進，透過雙方量測技術互 >中華郵政保單借款 補，將能協助客戶強化製程控制並提高良率。
【中央社台北十六日電】荷商艾司摩爾（ASML）將斥資新台幣一○○○億元收購漢微科，ASML認為，雙方量測技術將具互補效益，兩公司結合，將有利協助客戶強化製程控制並提高良率。
漢微科宣布，與ASML簽署股份轉換契約，ASML將以每股一四一○元收購漢微科全部流通在外股份，交易總金額達一○○○億元，這宗交易案預計今年第四季完成。
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